Myrzabekova, M., Guseinov, N., Zaitsev, S., Shabelnikova, Y., Muratov, M., Muradova, S., & Turarbaeva, T. (2019). АСМ арқылыэлектронды литографияның параметрлерін зерттеу. Хабаршы. Физика сериясы, 2019(1), 81-90. https://doi.org/10.26577/rcph-2019-1-1112