Ганиева, К., Карим C., & Абдувалов, А. (2026). Магнетрондық шандату әдісімен алынған ZnO жұқа қабықшаларына қарқынды импульстік иондық сәуле әсерін зерттеу. Хабаршы. Физика сериясы, 98(3), 29-39. https://doi.org/10.26577/