NUSSUPOV, K.Kh.; BEISENKHANOV, N.B.; BAKRANOVA, D.I.; SYMAIYL, K.; SEITOV, B.Zh. Структура пленок карбида кремния, синтезированных методом магнетронного распыления. Хабаршы. Физика сериясы, [S. l.], v. 2018, n. 4, p. 93–99, 2018. Disponível em: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/868. Acesso em: 5 jul. 2026.