Beisenkhanov, N.B. (2008) “СТРУКТУРА ТОНКИХ СЛОЕВ SiC0,12, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ. КОНЦЕНТРАЦИЯСЫ NC/NSi = 0.12 КӚМІРТЕГІ ЕНДІРІЛГЕН КРЕМНИЙДІН ЖҦҚА ҚАБАТТАРЫНЫҢ ҚҦРЫЛЫМЫ”, Хабаршы. Физика сериясы, 27(3), pp. 56–64. Available at: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/320 (Accessed: 11 September 2026).