Nussupov, K. (2018) “Структура пленок карбида кремния, синтезированных методом магнетронного распыления”, Хабаршы. Физика сериясы, 2018(4), pp. 93–99. Available at: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/868 (Accessed: 18 July 2026).