Nussupov, K. et al. (2018) “Структура пленок карбида кремния, синтезированных методом магнетронного распыления”, Хабаршы. Физика сериясы, 67(4), pp. 93–99. Available at: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/868 (Accessed: 20 September 2026).