Chuchvaga, N. et al. (2018) “Исследование влияния влажной химической обработки на поверхность кремниевых монокристаллических пластин”, Хабаршы. Физика сериясы, 67(4), pp. 108–114. Available at: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/929 (Accessed: 12 September 2026).