Aubakirova, D., Yerdybaeva, N. and Pichugin, V. (2020) “Исследование состава пленок оксидов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления”, Хабаршы. Физика сериясы, 2020(3), pp. 43–48. doi:10.26577/RCPh.2020.v74.i3.06.