N. B. Beisenkhanov, “СТРУКТУРА ТОНКИХ СЛОЕВ SiC0,12, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ. КОНЦЕНТРАЦИЯСЫ NC/NSi = 0.12 КӚМІРТЕГІ ЕНДІРІЛГЕН КРЕМНИЙДІН ЖҦҚА ҚАБАТТАРЫНЫҢ ҚҦРЫЛЫМЫ”, Rec.Contr.Phys., vol. 2008, no. 3, pp. 56–64, Sep. 2008, Accessed: Jul. 14, 2026. [Online]. Available: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/320