K. Nussupov, N. Beisenkhanov, D. Bakranova, K. Symaiyl, and B. Seitov, “Структура пленок карбида кремния, синтезированных методом магнетронного распыления”, Rec.Contr.Phys., vol. 67, no. 4, pp. 93–99, Oct. 2018, Accessed: Sep. 20, 2026. Available: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/868