N. Chuchvaga, N. Kislyakova, K. Aimaganbetov, B. Rakymetov, and N. Tokmoldin, “Исследование влияния влажной химической обработки на поверхность кремниевых монокристаллических пластин”, Rec.Contr.Phys., vol. 67, no. 4, pp. 108–114, Oct. 2018, Accessed: Aug. 25, 2026. Available: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/929