D. Aubakirova, N. Yerdybaeva, and V. Pichugin, “Исследование состава пленок оксидов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления”, Rec.Contr.Phys., vol. 2020, no. 3, pp. 43–48, Sep. 2020, doi: 10.26577/RCPh.2020.v74.i3.06.