Nussupov, K.Kh., et al. “Структура пленок карбида кремния, синтезированных методом магнетронного распыления”. Хабаршы. Физика сериясы, vol. 2018, no. 4, Oct. 2018, pp. 93-99, https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/868.