Chuchvaga, N.A., et al. “Исследование влияния влажной химической обработки на поверхность кремниевых монокристаллических пластин”. Хабаршы. Физика сериясы, vol. 2018, no. 4, Oct. 2018, pp. 108-14, https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/929.