Myrzabekova M.М., et al. “АСМ арқылыэлектронды литографияның параметрлерін зерттеу”. Хабаршы. Физика сериясы, vol. 2019, no. 1, Mar. 2019, pp. 81-90, https://doi.org/10.26577/rcph-2019-1-1112.