Aubakirova, D., et al. “Исследование состава пленок оксидов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления”. Хабаршы. Физика сериясы, vol. 2020, no. 3, Sept. 2020, pp. 43-48, https://doi.org/10.26577/RCPh.2020.v74.i3.06.