Beisenkhanov, N. B. “СТРУКТУРА ТОНКИХ СЛОЕВ SiC0,12, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ. КОНЦЕНТРАЦИЯСЫ NC NSi = 0.12 КӚМІРТЕГІ ЕНДІРІЛГЕН КРЕМНИЙДІН ЖҦҚА ҚАБАТТАРЫНЫҢ ҚҦРЫЛЫМЫ”. Хабаршы. Физика сериясы 27, no. 3 (September 18, 2008): 56–64. Accessed September 10, 2026. https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/320.