Nussupov, K.Kh., N.B. Beisenkhanov, D.I. Bakranova, K. Symaiyl, and B.Zh. Seitov. “Структура пленок карбида кремния, синтезированных методом магнетронного распыления”. Хабаршы. Физика сериясы 67, no. 4 (October 30, 2018): 93–99. Accessed September 21, 2026. https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/868.