Chuchvaga, N.A., N.M. Kislyakova, K.P. Aimaganbetov, B.A. Rakymetov, and N.S. Tokmoldin. “Исследование влияния влажной химической обработки на поверхность кремниевых монокристаллических пластин”. Хабаршы. Физика сериясы 2018, no. 4 (October 30, 2018): 108–114. Accessed July 13, 2026. https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/929.