Мansurov BZ, Мedyanova BS, Mansurova ME, Аliyev BA. Расчет технологических параметров процесса напыления углеродных пленок на буферном слое меди. Көміртекті қабыршақтарды мыс буферлі қабатына тозаңдандыру процесінің технологиялық параметрлерін есептеу. Rec.Contr.Phys. [Internet]. 2013 Sep. 27 [cited 2026 Jul. 13];2013(3):49-57. Available from: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/99