Beisenkhanov NB. СТРУКТУРА ТОНКИХ СЛОЕВ SiC0,12, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ. КОНЦЕНТРАЦИЯСЫ NC/NSi = 0.12 КӚМІРТЕГІ ЕНДІРІЛГЕН КРЕМНИЙДІН ЖҦҚА ҚАБАТТАРЫНЫҢ ҚҦРЫЛЫМЫ. Rec.Contr.Phys. [Internet]. 2008 Sep. 18 [cited 2026 Jul. 13];2008(3):56-64. Available from: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/320