Nussupov K, Beisenkhanov N, Bakranova D, Symaiyl K, Seitov B. Структура пленок карбида кремния, синтезированных методом магнетронного распыления. Rec.Contr.Phys. [Internet]. 2018 Oct. 30 [cited 2026 Jul. 17];2018(4):93-9. Available from: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/868