Chuchvaga N, Kislyakova N, Aimaganbetov K, Rakymetov B, Tokmoldin N. Исследование влияния влажной химической обработки на поверхность кремниевых монокристаллических пластин. Rec.Contr.Phys. [Internet]. 2018 Oct. 30 [cited 2026 Sep. 12];67(4):108-14. Available from: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/929