Жұмаділов Р, Елубаев Д, Оңайбергенов Ж, Утегенов А. Төмен қысымды RF-DBD реакторында алынған аргон және аргон-метан плазмасының спектрлік сипаттамалары. Rec.Contr.Phys. [Internet]. 2026 Mar. 18 [cited 2026 Sep. 10];96(1):48-56. Available from: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/1939