Жумадилов Р, Елубаев Д, Онайбергенов Ж, Утегенов А. Төмен қысымды RF-DBD реакторында алынған аргон және аргон-метан плазмасының спектрлік сипаттамалары. Rec.Contr.Phys. [Internet]. 2025 Mar. 20 [cited 2026 Jul. 19];96(1):48-56. Available from: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/1939