Ганиева К, Карим C, Абдувалов А. Магнетрондық шандату әдісімен алынған ZnO жұқа қабықшаларына қарқынды импульстік иондық сәуле әсерін зерттеу. Rec.Contr.Phys. [Internet]. 2026 Sep. 7 [cited 2026 Sep. 7];98(3):29-3. Available from: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/1988