Влияние наночастиц меди на интенсивности свечениz плазмы высокочастотного емкостного разряда
DOI:
https://doi.org/10.26577/RCPh.2020.v75.i4.03Ключевые слова:
Плазма высокочастотного емкостного разряда, магнетронная распылительная система, наночастицы медиАннотация
В работе приведены результаты экспериментального исследования, влияние наночастиц меди на интенсивности свечения плазмы высокочастотного емкостного разряда. Наночастицы состоят из атомов, молекул и нанокластеров меди, которые агломерировались, попадая в объем плазмы. Для получения потоки атомов и молекул меди, направленные на плазму, использовалась магнетронная распылительная система. Известно, что на оптические свойства плазмы влияет только размеры и концентрация наночасти в ее объеме. В таком случае, в качестве источника наночастиц, то есть катода магнетрона можно использовать практический любой материал. Высокочастотная плазма и разряд магнетрона зажигается в одной среде с особо чистым газом аргон. Для анализа интенсивности свечения плазмы были использованы ее эмиссионные спектральные линии с длиной волны 737 и 750 нм. Таким образом, были определены, что, концентрация наночастиц в плазменной среде зависит от длительности процесса магнетронного распыления, и с истечением времени насыщается. Как показывает результаты экспериментов, интенсивность свечения плазмы при длительности процесса магнетронного распыления на 7, 14, 20 и 40 секунд, соответственно растет в относительных величинах на 4451, 5280, 10725 и 13545. То есть, в данном случае интенсивность свечения плазмы с наночастицами три раза больше, чем без наночастиц. Если процесс распыления длится более одной минуты, тогда, интенсивность свечения плазмы заметно не растет, это свидетельствует о наступлении насыщения концентрации наночастиц в объеме плазмы, что связано с уходом наночастиц от объема плазмы. Считаем что, результаты экспериментов находят применение в таких областях, где рассматривается проблемы связанные с увеличением интенсивности свечение газоразрядных источников света, не повышая их входную мощность.
