Исследование распределения потока ионов в барьерном разряде методом Монте-Карло
Ключевые слова:
Дрейф ионов, Электрическое поле, Аргон, Угловое распределение ионовАннотация
В данной работе исследованы угловое и энергетическое распределение ионов на поверхности мишени в барьерном разряде. Представлены результаты расчетов методом Монте-Карло транспортных характеристик ионов, пересекающих поверхность мишени. Основное внимание уделено угловому и энергетическому распределению ионов и отличию в распределениях средних по объему и средних по потоку на поверхность.Загрузки
Опубликован
24.10.2015
Выпуск
Раздел
Физика плазмы
Как цитировать
Исследование распределения потока ионов в барьерном разряде методом Монте-Карло. (2015). Recent Contributions to Physics, 2015(4), 20-29. https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/400
