А Разработка системы измерения в нанодиапазоне

N.E. Akhanova; S.A. Darznek; J.E. Zhelkobaev; M.T. Gabdullin; Y. Yerlanuly; D.G. Batryshev

Авторы

N.E. Akhanova Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, г. Алматы
S.A. Darznek 3АО «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума», Россия, г. Москва
J.E. Zhelkobaev АО «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума», Россия, г. Москва
M.T. Gabdullin Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, АО «Казахстанско-Британский технический университет», Казахстан, г. Алматы
Y. Yerlanuly Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, АО «Казахстанско-Британский технический университет»,Казахстан, г. Алматы
D.G. Batryshev Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, АО «Казахстанско-Британский технический университет», Казахстан, г. Алматы

Ключевые слова:

лазер, линейное перемещение, нанодиапазон, интерферометр, угол фазового сдвига (УФС)

Аннотация

Работа посвящена измерению линейных смещений в нанодиапазоне, анализу особенностей такого рода работ, обеспечению единства измерений и стабильности измеряемой физической величины, достоверности результатов и их привязки к Госэталонам. Рассмотрены критерии, которым должны соответствовать методы и средства прецизионных измерений в нанодиапазоне, а также методы и средства съема и представления обработки получаемой информации. Сделан анализ основных источников погрешностей. Результаты этих исследований представлены в работе [1]. Рассмотрены особенности построения измерительных комплексов, а также вопросы калибровки фазовых измерений в оптике.Рассмотрены вопросы прикладного характера: измерение реальных перемещений объектов в нанодиапазоне, определения их скорости и ускорения, а также вопросы внедрения разработанных методов в область практического применения.Приведены результаты, полученные при решении экспериментальных и прикладных задач с использованием метода и средств численного гетеродинирования. Разработанная измерительная система «интерферометр-фазометр», позволяет исследовать, в реальном масштабе времени, сложные пъезокерамические структуры используемых в различных устройствах в качестве актюаторов.