Способ сепарации полидисперсных частиц в плазме высокочастотного разряда
Ключевые слова:
сепарация, монодисперсные частицы, пылевая плазма, эквипотенциальное полеАннотация
В данной работе рассматривается метод сепарации полидисперсных пылевых частиц в плазме высокочастотного емкостного разряда для получения монодисперсных и мелкодисперсных частиц. Принципиальным отличием предлагаемого метода сепарации от существующих методов сепарации является то, что в качестве инструмента сепарации используется эквипотенциальное поле плазмы высокочастотного емкостного разряда. Простота технологии позволяет получать сепарированные мелкодисперсные и монодисперсные частицы различных материалов. На основе разработанного метода сепарации полидисперсных частиц в плазме высокочастотного емкостного разряда были получены монодисперсные нано- и микрочастицы со средними размерами 600 нм и 5 мкм. Метод сепарации полидисперсных частиц осуществляется с помощью специальной конфигурации нижнего электрода высокочастотного емкостного разряда с электроловушкой, которая позволяет управлять эквипотенциальное поле плазмы высокочастотного емкостного разряда. Таким образом, контролируя поле плазмы и параметры разряда, были получены мелкодисперсные частицы оксида алюминия и оксида кремния. Анализ полученных образцов проводился на сканирующем электронном микроскопе Quanta 3D 200i (FEI company, USA) на морфологию, химический состав. На основе графических и математических расчетов были построены графики распределения частиц по размерам.
