Расчет технологических параметров процесса напыления углеродных пленок на буферном слое меди. Көміртекті қабыршақтарды мыс буферлі қабатына тозаңдандыру процесінің технологиялық параметрлерін есептеу

Авторы

  • B. Z. Мansurov Казахский национальный университет им. аль-Фараби
  • B. S. Мedyanova
  • M. E. Mansurova
  • B. A. Аliyev

Ключевые слова:

углеродные пленки, буферный слой, коэффициент распыления, скорость распыления, скорость напыления. көміртекті қабыршақтар, буферлі қабат, тозаңдандыру коэффициенті, тозаңдандыру жылдамдығы, тозаңдату жылдамдығы.

Аннотация

В работе представлены результаты расчетов аналитических зависимостей технологических параметров процесса напыления углеродных пленок на буферном слое меди, которые позволяют прогнозировать оптимальную концентрацию водорода в газовой смеси, интервалы рабочих напряжений мишень-анод, толщину напыляемых пленок и соответственно время экспериментов. На основании расчетов построено математическое описание (алгоритм) процесса напыления углеродной пленки. Жұмыста көміртекті қабыршақтарды мыс буферлі қабатына тозаңдандыру процесінің технологиялық параметрлерінің аналитикалық тəуелділіктерінің нəтижелері келтірілген, олар газ қоспасындағы сутегінің оптималды концентрациясын, нысана-анод жұмыс кернеулерінің аралығын, тозаңдандырылатын қабыршақтардың қалыңдығын жəне сəйкесінше тəжірибелер уақытын болжауға мүмкіндік береді.

Загрузки

Опубликован

27.09.2013

Выпуск

Том 2013 № 3 (2013): Вестник. Серия физическая

Раздел

Физика конденсированного состояния и проблемы материаловедения. Нанонаука

Как цитировать

Расчет технологических параметров процесса напыления углеродных пленок на буферном слое меди. Көміртекті қабыршақтарды мыс буферлі қабатына тозаңдандыру процесінің технологиялық параметрлерін есептеу. (2013). Recent Contributions to Physics, 2013(3), 49-57. https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/99