Исследование распределения потока ионов в барьерном разряде методом Монте-Карло - Коданова, С. К.; Бастыкова, Н. Х.; Кенжебекова, А. К.; Майоров, С. А. (Вестник. Серия физическая, 2015)
В данной работе исследованы угловое и энергетическое распределение ионов на поверхности мишени в барьерном разряде. Представлены результаты расчетов методом Монте-Карло транспортных характеристик ионов, пересекающих поверхность мишени. Основное внимание уделено угловому и энергетическому распределению ионов и отличию в распределениях средних по объему и средних по потоку на поверхность.
Keywords: Дрейф ионов; Электрическое поле; Аргон; Угловое распределение ионов