Beisenkhanov, N. B. СТРУКТУРА ТОНКИХ СЛОЕВ SiC0,12, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ. КОНЦЕНТРАЦИЯСЫ NC NSi = 0.12 КӚМІРТЕГІ ЕНДІРІЛГЕН КРЕМНИЙДІН ЖҦҚА ҚАБАТТАРЫНЫҢ ҚҦРЫЛЫМЫ. Rec.Contr.Phys. 2008, 2008 (3), 56-64.