Myrzabekova, M.; Guseinov, N.; Zaitsev, S.; Shabelnikova, Y.; Muratov, M.; Muradova, S.; Turarbaeva, T. Изучение параметров электронной литографии посредством АСМ. Rec.Contr.Phys. 2019, 2019 (1), 81-90. https://doi.org/10.26577/rcph-2019-1-1112.