Aubakirova, D.; Yerdybaeva, N.; Pichugin, V. Исследование состава пленок оксидов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления. Rec.Contr.Phys. 2020, 2020 (3), 43-48. https://doi.org/10.26577/RCPh.2020.v74.i3.06.