Nussupov K, Beisenkhanov N, Bakranova D, Symaiyl K, Seitov B. Структура пленок карбида кремния, синтезированных методом магнетронного распыления. Rec.Contr.Phys. 2018;2018(4):93-99. просмотрено июль 14, 2026. https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/868