Aubakirova D, Yerdybaeva N, Pichugin V. Исследование состава пленок оксидов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления. Rec.Contr.Phys. 2020;2020(3):43-48. doi:10.26577/RCPh.2020.v74.i3.06