Жумадилов Р, Елубаев Д, Онайбергенов Ж, Утегенов А. Спектральные характеристики аргоновой и аргон-метановой плазмы, полученной в RF-DBD реакторе при низком давлении. Rec.Contr.Phys. 2025;96(1):48-56. doi:10.26577/RCPh96120266