Aubakirova, D., Yerdybaeva, N., & Pichugin, V. (2020). Исследование состава пленок оксидов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления. Вестник. Серия физическая, 74(3), 43-48. https://doi.org/10.26577/RCPh.2020.v74.i3.06