Жумадилов , Р. . ., Елубаев , Д. ., Онайбергенов, Ж. ., & Утегенов, А. . (2025). Спектральные характеристики аргоновой и аргон-метановой плазмы, полученной в RF-DBD реакторе при низком давлении. Recent Contributions to Physics, 96(1), 48-56. https://doi.org/10.26577/RCPh96120266