BEISENKHANOV, N. B. СТРУКТУРА ТОНКИХ СЛОЕВ SiC0,12, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ. КОНЦЕНТРАЦИЯСЫ NC/NSi = 0.12 КӚМІРТЕГІ ЕНДІРІЛГЕН КРЕМНИЙДІН ЖҦҚА ҚАБАТТАРЫНЫҢ ҚҦРЫЛЫМЫ. Recent Contributions to Physics, [S. l.], v. 2008, n. 3, p. 56–64, 2008. Disponível em: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/320. Acesso em: 5 июл. 2026.