N. B. Beisenkhanov, «СТРУКТУРА ТОНКИХ СЛОЕВ SiC0,12, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ. КОНЦЕНТРАЦИЯСЫ NC/NSi = 0.12 КӚМІРТЕГІ ЕНДІРІЛГЕН КРЕМНИЙДІН ЖҦҚА ҚАБАТТАРЫНЫҢ ҚҦРЫЛЫМЫ», Rec.Contr.Phys., т. 2008, вып. 3, сс. 56–64, сен. 2008, просмотрено: 15 июль 2026 г. [онлайн]. доступно на: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/320