K. Nussupov, N. Beisenkhanov, D. Bakranova, K. Symaiyl, и B. Seitov, «Структура пленок карбида кремния, синтезированных методом магнетронного распыления», Rec.Contr.Phys., т. 2018, вып. 4, сс. 93–99, окт. 2018, просмотрено: 15 июль 2026 г. [онлайн]. доступно на: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/868