N. Chuchvaga, N. Kislyakova, K. Aimaganbetov, B. Rakymetov, и N. Tokmoldin, «Исследование влияния влажной химической обработки на поверхность кремниевых монокристаллических пластин», Rec.Contr.Phys., т. 67, вып. 4, сс. 108–114, окт. 2018, просмотрено: сен. 02, 2026. доступно на: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/929