Beisenkhanov NB. СТРУКТУРА ТОНКИХ СЛОЕВ SiC0,12, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ. КОНЦЕНТРАЦИЯСЫ NC/NSi = 0.12 КӚМІРТЕГІ ЕНДІРІЛГЕН КРЕМНИЙДІН ЖҦҚА ҚАБАТТАРЫНЫҢ ҚҦРЫЛЫМЫ. Rec.Contr.Phys. [Интернет]. 18 сентябрь 2008 г. [цитируется по 16 июль 2026 г.];2008(3):56-64. доступно на: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/320