Определение свойств парамагнитных центров нитрида кремния, при различных условиях термической обработки

D.O. Murzalinov; B.A. Rakymetov; B.A. Baitimbetova; A. Shaikenova; D.A. Muratov

doi:10.26577/RCPh.2022.v80.i1.04

Авторлар

D.O. Murzalinov Satbayev University, Физико-технический институт, Казахстан, г.Алматы http://orcid.org/0000-0001-6519-1969
B.A. Rakymetov Satbayev University, Физико–технический институт, Казахстан, г. Алматы http://orcid.org/0000-0002-7326-4774
B.A. Baitimbetova Satbayev University, Физико–технический институт, Казахстан, г. Алматы http://orcid.org/0000-0002-3728-2430
A. Shaikenova Satbayev University, Физико–технический институт, Казахстан, г. Алматы http://orcid.org/0000-0002-1894-0223
D.A. Muratov Satbayev University, Физико–технический институт, Казахстан, г. Алматы http://orcid.org/0000-0003-4970-9101

##doi.readerDisplayName##:

10.26577/RCPh.2022.v80.i1.04

Кілт сөздер:

метод PECVD, нитрид кремния, термическая обработка, парамагнитные центры, оборванные связи

Аңдатпа

Планарлы кремний технологиясына жақсы біріктірілген материал негізінде парамагниттік жарық шығаратын бөлшектерді қалыптастыру процесін зерттеу өзекті мәселе болып табылады. Кремний нитриді диэлектрлік қасиеттеріне байланысты және интерфейстегі энергияның жоғары тосқауылына байланысты оқшаулағыш және пассивті қабат ретінде кеңінен қолданылады. PECVD әдісімен парамагниттік орталықтар табылған SiN_x/SiO₂/Si үлгілері алынды. Бұл әдістің ерекшелігі-төмен температурада тұндыру (250-300°С), бұл сутегімен байланыстың пайда болуына әкеледі. Қосымша күйдіру кезінде сутегі буланып, ілінетін бөлшектер пайда болады. Әлсіз өрістерде сигналды анықтау фактісі қызықты. 800°C температурада Ar ортасында ұзақ уақыт пешті тазарту марганецтің үшінші және төртінші компоненті арасындағы сигнал параметрлерін өзгертпейді, бірақ әлсіз өрістердегі сигнал азаяды. Ar ортасында 1100°C кезінде термиялық өңдеу марганецтің үшінші және төртінші компоненті арасындағы сигналды түрлендіреді және әлсіз өрістерде сигналды қалпына келтіреді. Бұл сигналдардың табиғаты K және N сәулелену орталықтарының суперпозициясына сәйкес келеді. Бұл сигналдардың табиғаты K және N шығаратын орталықтардың суперпозициясына сәйкес келеді. Үлгінің күйдіру температурасына байланысты әлсіз өрістердегі сигнал айтарлықтай төмендейді.