ИОНДЫ ИМПЛАНТАЦИЯДАН КЕЙІНГІ 36НХТЮ ҚОРЫТПАСЫНЫҢ ҚҰРЫЛЫМЫ МЕН ҚАСИЕТТЕРІ
Аңдатпа
Мақалада 36НХТЮ дисперсиялық қатайғыш қорытпаны N+, Ti+, Ta+ иондарын имплантациялғандағы құрылымдар мен қасиеттері көрсетілген. Ионды имплантация 0,2¸0,3 мкм имплантацияланған қабаттың құрылатыны анықталған. Азот иондарымен өндегенде қорытпаның циклдық тұрақтылығын жоғарлатады. Ti+, Ta+ иондарымен имплантациялағанда коррозияға төзімділік қасиеті өсетіні анықтаған.
