Исследование температуры электронов в плазме тлеющего разряда  при постоянном токе Ar и Ar/C2H2

А.У.  Утегенов; Ж.Е.  Онайбергенов; A.Е.  Абдрахманов; С.А.  Оразбаев; Т.С.  Рамазанов

doi:10.26577/RCPh.2024v90i3-04

Авторлар

А.У. Утегенов Институт прикладных наук и информационных технологий, Казахский национальный университет им. Аль-Фараби, г.Алматы, Казахстан https://orcid.org/0000-0001-6768-0918
Ж.Е. Онайбергенов Институт прикладных наук и информационных технологий, г.Алматы, Казахстан; захский национальный университет им. Аль-Фараби, г.Алматы, Казахстан https://orcid.org/0009-0008-2286-1406
A.Е. Абдрахманов Казахский национальный университет им. Аль-Фараби, г.Алматы, Казахстан https://orcid.org/0009-0003-7304-6894
С.А. Оразбаев Казахский национальный университет им.аль-Фараби, г. Алматы, Казахстан https://orcid.org/0000-0002-7286-9990
Т.С. Рамазанов Казахский национальный университет им.аль-Фараби, г. Алматы, Казахстан https://orcid.org/0000-0001-7172-8005

DOI:

10.26577/RCPh.2024v90i3-04

Кілт сөздер:

пылевая плазма, температура электронов, PECVD, плазма с наночастицами, оптическая спектроскопия

Аңдатпа

Бұл жұмыста тұрақты токтағы солғын разрядының аргон және аргон ацетилен плазмасындағы электрондардың температурасын зерттеу нәтижелері келтірілген. Күрделі плазманың негізгі параметрін анықтау үшін оптика эмиссиялық әдіс қолданылды. Электрондардың температурасының қысымнан, кернеуден және уақыттан тәуелділігі спектірлік сызықтардың интенсивтілігін талдау арқылы анықталды. Эксперимент барысында кернеу көзі 1кВ-тан 1,5кВ-қа дейін жүйелі түрде өзгертіліп отырды, ал қысым көрсеткіші тұрақты түрде 0,1-1 торр арасында сақталды. Уақыттан тәуелділігі бойынша 200 секундқа созылған солғын разрядта әр 20 секунд сайын электрондардың температурасы есептеліп отырды. Алынған нәтижелер көрсетуі бойынша аргон плазмасында қысымның жоғарылауымен электрондардың температурасы 0,4 торр қысым көрсеткішіне деін төмендеп, содан кейін қайта көтерілетінін көрсетті. Электрондардың температурасы бөлшексіз яғни аргон плазмасында кернеу көзі жоғарылауымен қателік шегінде төмендей бастайтыны байқалды. Тозаңды плазмада (PECVD Ar-C₂H₂) жүргізілген зерттеу нәтижесін саралау барысында электрондардың температурасы қысым мен кернеу көзінен тәуелділігі аргон плазмасында байқалған тенденциялармен өте ұқсас болғаны анықталды. Бастапқы сәтте уақытқа байланысты тәуелділікте тозаңды плазмадағы электрондардың температурасы біртіндеп жоғарылай бастап, кеін уақыт өте келе күрт төмендейтінін нәтижелер көрсетті.

Автор өмірбаяндары

А.У. Утегенов , Институт прикладных наук и информационных технологий, Казахский национальный университет им. Аль-Фараби, г.Алматы, Казахстан

автор-корреспондент, PhD, Институт прикладных наук и информационных технологий, Казахский национальный университет им. Аль-Фараби, г.Алматы, Казахстан. email: almasbek@physics.kz
Ж.Е. Онайбергенов, Институт прикладных наук и информационных технологий, г.Алматы, Казахстан; захский национальный университет им. Аль-Фараби, г.Алматы, Казахстан

студент бакалавриата, Институт прикладных наук и информационных технологий, Казахский национальный университет им. Аль-Фараби, г.Алматы, Казахстан, email: onajbergenovz@gmail.com
A.Е. Абдрахманов, Казахский национальный университет им. Аль-Фараби, г.Алматы, Казахстан

PhD студент, Казахский национальный университет им. Аль-Фараби, г.Алматы, Казахстан. email: azamat.abdrakhman06@gmail.com
С.А. Оразбаев , Казахский национальный университет им.аль-Фараби, г. Алматы, Казахстан

PhD, Казахский националь-ный университет им. Аль-Фараби, г.Алматы, Казахстан. email: sagi.orazbayev@gmail.com
Т.С. Рамазанов , Казахский национальный университет им.аль-Фараби, г. Алматы, Казахстан

докт.физ.-мат.наук, Академик НАН РК при Президенте РК, проф., Казахский национальный университет им. Аль-Фараби, г.Алматы, Казахстан. email: ramazan@physics.kz