Influence of gas mixtures on complex plasmas parameters in rf and dc discharges
Ключевые слова:
высокочастотный разряд, смесь газовАннотация
В данной работе представлены результаты исследований влияния смеси газов на параметры плазмы комбинированного RF+DC разряда. Экспериментально исследовались свойства комплексной плазмы в смеси газов в ВЧ разряде, с дополнительно приложенным постоянным электростатическим полем. Показано, что добавление тяжелого газа в более легкий газ, и дополнительное воздействие постоянного поля на ВЧ разряд приводят к изменениям пространственной характеристики буферной плазмы разряда и соответственно положения пылевой структуры.
Библиографические ссылки
1. Shukla P.K. and Mamun A.A. Introduction to Dusty Plasma Physics. Series in Plasma Physics. - Institute of Physics Publishing, 2002.
2. Thomas H.M. and G.E. Morfill, Nature (London) 379, 806 (1996).
3. Фортов В.Е., Храпак А.Г., Храпак С.А., В.И. Молотков, О.Ф. Петров // УФН, 2004. – T.174. – P. 495. UspehiFiz.Nauk (Progress in Physics Sciences), v. – [in Russian]
4. Шибкова Л.В., Шибков В.М.. Разряд в смесях инертных газов. - М.: Физматлит, 2005.
5. Flamm D.L., Donneley V.M., Ibbotson D.E. // J. Vac. Sci. Technol. 1983. - Vol. B1. - N1. - P. 23-30.
6. Coburn J.M., Kay E. // IBM J. Res. Develop. 1979. - Vol. 23. - N 1. - P. 33-41.
7. Berndt J., Douai D., Winter J. // Phys. Plasmas. – 2002. - Vol.9. – P.1046.
8. Berndt J., Makasheva K., Schluter H., Shivarova A. // J. Appl. Phys. - 2002. - Vol. 92. - N 11. - P. 6461-6470.
9. Wen-Yao Liu, Yong-Quan Du, Yong-Xin Liu, Jia Liu, etc.// Phys. Plasmas 20, 113501 (2002).
10. M.A. Lieberman and A.J. Lichtenberg//Principles of Plasma Discharges and Materials Processing. - Wiley-Blackwell, 2005.
11. Майоров // Кр. сообщ. по физ. ФИАН, 2007. - №7. – C.44.
12. Ramazanov T.S., Dzhumagulova K.N., Jumabekov A.N., and Dosbolayev M.K. // Phys. Plasmas. – 2008. – Vol. 15. – P.053704.
13. Ramazanov T. S., Daniyarov T.T., Maiorov S.A., Kodanova S.K., Dosbolayev M.K. and Zhankarashev E.B. // Contrib. Plasma Phys. -2011. - Vol. 51, issue 6. - P.505-508.
14. Popova D. V., Maiorov S. A., Antipov S. N., Petrov O. F., and Fortov V. E. In Book of Abstracts of the Fifth International Conference on Physics of Dusty Plasmas. Ponta Delgada, Azores, May 18–23, 2008 – P. 139.
15. Lisovskiy V., J.-P. Booth, N. Kharchenko, V. Yegorenkov, 2007 Proc. 28th ICPIG, Prague, Czech Republic. p. 2067.
16. Лисовский В.А., Харченко Н.Д. // Вестник Харьковского университета, серия физика «Ядра, частиц, поля». – 2010. - № 899, вып. 2.
17. Shinya Iwashita, Edmund Schungel, Julian Schulze, Peter Hartmann, ZoltanDonko, Giichiro Uchida, Kazunori Koga, MasaharuShiratani and UweCzarnetzki // J. Phys. D: Appl. Phys. – 2013. – Vol.46. – P.245202 (12pp).
18. Dosbolayev M.K., Utegenov A.U., Ramazanov T.S., Daniyarov T.T. // Contrib. Plasma. Phys. – 2013. – Vol.53. - No. 4-5. - P. 426-431.
2. Thomas H.M. and G.E. Morfill, Nature (London) 379, 806 (1996).
3. Фортов В.Е., Храпак А.Г., Храпак С.А., В.И. Молотков, О.Ф. Петров // УФН, 2004. – T.174. – P. 495. UspehiFiz.Nauk (Progress in Physics Sciences), v. – [in Russian]
4. Шибкова Л.В., Шибков В.М.. Разряд в смесях инертных газов. - М.: Физматлит, 2005.
5. Flamm D.L., Donneley V.M., Ibbotson D.E. // J. Vac. Sci. Technol. 1983. - Vol. B1. - N1. - P. 23-30.
6. Coburn J.M., Kay E. // IBM J. Res. Develop. 1979. - Vol. 23. - N 1. - P. 33-41.
7. Berndt J., Douai D., Winter J. // Phys. Plasmas. – 2002. - Vol.9. – P.1046.
8. Berndt J., Makasheva K., Schluter H., Shivarova A. // J. Appl. Phys. - 2002. - Vol. 92. - N 11. - P. 6461-6470.
9. Wen-Yao Liu, Yong-Quan Du, Yong-Xin Liu, Jia Liu, etc.// Phys. Plasmas 20, 113501 (2002).
10. M.A. Lieberman and A.J. Lichtenberg//Principles of Plasma Discharges and Materials Processing. - Wiley-Blackwell, 2005.
11. Майоров // Кр. сообщ. по физ. ФИАН, 2007. - №7. – C.44.
12. Ramazanov T.S., Dzhumagulova K.N., Jumabekov A.N., and Dosbolayev M.K. // Phys. Plasmas. – 2008. – Vol. 15. – P.053704.
13. Ramazanov T. S., Daniyarov T.T., Maiorov S.A., Kodanova S.K., Dosbolayev M.K. and Zhankarashev E.B. // Contrib. Plasma Phys. -2011. - Vol. 51, issue 6. - P.505-508.
14. Popova D. V., Maiorov S. A., Antipov S. N., Petrov O. F., and Fortov V. E. In Book of Abstracts of the Fifth International Conference on Physics of Dusty Plasmas. Ponta Delgada, Azores, May 18–23, 2008 – P. 139.
15. Lisovskiy V., J.-P. Booth, N. Kharchenko, V. Yegorenkov, 2007 Proc. 28th ICPIG, Prague, Czech Republic. p. 2067.
16. Лисовский В.А., Харченко Н.Д. // Вестник Харьковского университета, серия физика «Ядра, частиц, поля». – 2010. - № 899, вып. 2.
17. Shinya Iwashita, Edmund Schungel, Julian Schulze, Peter Hartmann, ZoltanDonko, Giichiro Uchida, Kazunori Koga, MasaharuShiratani and UweCzarnetzki // J. Phys. D: Appl. Phys. – 2013. – Vol.46. – P.245202 (12pp).
18. Dosbolayev M.K., Utegenov A.U., Ramazanov T.S., Daniyarov T.T. // Contrib. Plasma. Phys. – 2013. – Vol.53. - No. 4-5. - P. 426-431.
Загрузки
Опубликован
2014-12-20
Выпуск
Раздел
Физика плазмы
