КОМПЛЕКС ДЛЯ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО ЭЛЕМЕНТНОГО АНАЛИЗА ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ МАТЕРИАЛОВ С НАНОМЕТРОВЫМ РАЗРЕШЕНИЕМ.  ҚАТТЫ ДЕНЕЛІ МАТЕРИАЛДЫРДЫ КҮЙРЕТПЕЙ НАНОМЕТІРЛІК АЙЫРУ ҚАБІЛЕТІМЕН ҚАРАПАЙЫМ ТАЛДАЙТЫН ЖИЫНТЫҒЫ

F. F. Komarov; A. S. Kamyshan; V. V. Danilevich; E. B. Boiko; A. I. Kupchishin; A. K. Togambayeva

Authors

F. F. Komarov Научно-исследовательское учреждение «Институт прикладных физических проблем им. А.Н. Севченко» Белорусского государственного университета
A. S. Kamyshan Научно-исследовательское учреждение «Институт прикладных физических проблем им. А.Н. Севченко» Белорусского государственного университета
V. V. Danilevich Научно-исследовательское учреждение «Институт прикладных физических проблем им. А.Н. Севченко» Белорусского государственного университета
E. B. Boiko Научно-исследовательское учреждение «Институт прикладных физических проблем им. А.Н. Севченко» Белорусского государственного университета
A. I. Kupchishin НИИЭТФ, Казахский национальный университет им. аль-Фараби
A. K. Togambayeva НИИЭТФ, Казахский национальный университет им. аль-Фараби

Keywords:

energy resolution

Abstract

A measuring system for non-destructive elemental analysis of materials, providing the registration of Rutherford backscattering spectra with an energy resolution of 1.3 % has been designed and established. This corresponds to a minimal thickness of examined layer of 1.0–1.5 nm. A cylindrical electrostatic nonhomogeneous-field spectrometer is a main part of this system.