Углеродные пленки, полученные методом ионно-плазменного напыления

Авторы

  • M.Zh. Buranbaev Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, г. Алматы
  • Zh.A. Entibekov Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, г. Алматы
  • O.E. Kaipoldayev Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, г. Алматы
  • A.M. Derbissalin Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, г. Алматы

Ключевые слова:

углеродные пленки, ионно-плазменное напыление, кремниевая подложка, фазовый состав

Аннотация

Методом ионно-плазменного напыления получены углеродные пленки. Рассмотрен фазовый состав, внутреннее строение, морфология поверхности, измерена толщина слоя полученных пленок

Библиографические ссылки

1 SH.SH. Sarsembinov, O.YU. Prikhod'ko, S.YA. Maksimova Fizicheskiye osnovy modifikatsii elektronnykh svoystv nekristallicheskikh poluprovodnikov (Almaty: Kazak universitetí, 2005), 253-298 (in Russ).

2 A.P. Semenov, A.F. Belyanin, I.A. Semenova, P.V. Pashchenko, YU.A.Barankov, Zhurnal tekhnicheskoy nauki, 74 (5), 101-104. (2004) (in Russ)

3 Raiko, R. Spitzl, J. Engemann, V. Borisenko, V. Bondarenko, Diamond and Related Materials, 5, 1063-1069 (1996). (in Russ)

4 J. Wei, Y.Tzeng, J. Cryst. Growth., 128, 413-417 (1993). (in Russ)

Загрузки

Опубликован

2012-03-25

Выпуск

Том 40 № 1 (2012): Вестник КазНУ. Серия физическая

Раздел

Физика конденсированного состояния и проблемы материаловедения. Нанонаука

Наиболее читаемые статьи этого автора (авторов)