Углеродные пленки, полученные методом ионно-плазменного напыления
Ключевые слова:
углеродные пленки, ионно-плазменное напыление, кремниевая подложка, фазовый составАннотация
Методом ионно-плазменного напыления получены углеродные пленки. Рассмотрен фазовый состав, внутреннее строение, морфология поверхности, измерена толщина слоя полученных пленок
Библиографические ссылки
1 SH.SH. Sarsembinov, O.YU. Prikhod'ko, S.YA. Maksimova Fizicheskiye osnovy modifikatsii elektronnykh svoystv nekristallicheskikh poluprovodnikov (Almaty: Kazak universitetí, 2005), 253-298 (in Russ).
2 A.P. Semenov, A.F. Belyanin, I.A. Semenova, P.V. Pashchenko, YU.A.Barankov, Zhurnal tekhnicheskoy nauki, 74 (5), 101-104. (2004) (in Russ)
3 Raiko, R. Spitzl, J. Engemann, V. Borisenko, V. Bondarenko, Diamond and Related Materials, 5, 1063-1069 (1996). (in Russ)
4 J. Wei, Y.Tzeng, J. Cryst. Growth., 128, 413-417 (1993). (in Russ)
2 A.P. Semenov, A.F. Belyanin, I.A. Semenova, P.V. Pashchenko, YU.A.Barankov, Zhurnal tekhnicheskoy nauki, 74 (5), 101-104. (2004) (in Russ)
3 Raiko, R. Spitzl, J. Engemann, V. Borisenko, V. Bondarenko, Diamond and Related Materials, 5, 1063-1069 (1996). (in Russ)
4 J. Wei, Y.Tzeng, J. Cryst. Growth., 128, 413-417 (1993). (in Russ)
Загрузки
Как цитировать
Buranbaev, M., Entibekov, Z., Kaipoldayev, O., & Derbissalin, A. (2012). Углеродные пленки, полученные методом ионно-плазменного напыления. Вестник. Серия Физическая (ВКФ), 40(1), 12–15. извлечено от https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/672
Выпуск
Раздел
Физика конденсированного состояния и проблемы материаловедения. Нанонаука