Investigation and optimization of optical and electric properties of indium-tin oxide films obtained by magnetron sputtering method at different oxygen flows
DOI:
https://doi.org/10.26577/RCPh.2020.v73.i2.05Кілт сөздер:
прозрачные проводящие пленки, оксид индия олова, магнетронное напыление, гетеропереходной кремниевый солнечный элемент, transparent conductive films, indium tin oxide, magnetron sputtering, heterojunction silicon cell., мөлдір өткізгіш қабықша, индий-қалайы оксиді, магнетронды шашырау, гетеро ауысу кремний күн элементіАңдатпа
Индий-қалайы заманауи оптика және электроникадағы кеңінен пайдаланылатын материал болып табылады және кері шағылыстырушы жабындардан сұйық кристалды дисплейлерге дейін кең қолдану тәсілін құрайды. Бұл жұмыс күн энергетикасы саласындағы индий-қалайы оксидінің қабықшаларын қолдануға арналған. Қабықшалар магнетронды тозаңдату арқылы PVD тәсілімен алынды. Индий-қалайы оксидінің қабықшаларын синтездеу режимдерін оңтайландыру күнфотоэлементтерінің маңызды міндеттерінің бірі болып табылады. Бұл мақалада магнетронды шашырау арқылы алынған индий-қалайы оксидінің қабықшаларын әйнекте синтездеуде оттегі ағындарының әсерін, сондай-ақ алынған қабықшалардың қалыңдығын олардың оптикалық және электр қасиеттеріне әсерін зерттеу нәтижелері көрсетілген.Оптикалық қасиеттері өткізу спектрлері түрінде көрсетілген. Электрлік қасиеттері меншікті кедергі, қозғалыс және тасушылардың концентрациясын өлшеу нәтижелері және олардың қозғалыс жылдамдығы үлгілері, қалыңдығы және оттегі ағынымен өзара байланысы түрінде көрсетілген. Индий-қалайы оксиді қабықшаларының сипаттамалары оттегі ағындарына, сондай-ақ, өздерінің қабықшаларының қалыңдығына байланысты екендігі анықталды. Технологиялық үрдісті оңтайландыру үшін 300oС температурада қабыршақтарды жағу таңдалды. Индий-қалайы оксиді қабыршақтарының сипаттамалары оттегі ағындарына, сондай-ақ, өздерінің қабыршақтарының қалыңдығына байланысты екендігі анықталды.
